Детальная информация

Название: Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: научный доклад: 11.06.01
Авторы: Эннс Яков Борисович
Научный руководитель: Пятышев Евгений Нилович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Тематика: Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника
УДК: 531.36; 539.216.2
Тип документа: Научный доклад
Язык: Русский
Код специальности ФГОС: 11.06.01
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Аннотация

Научный доклад посвящён разработке конструкции, методов управления и технологии изготовления нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости.В рамках работы были получены новые данные о механических свойствах тонкопленочных металлических композиций и динамическом поведении нелинейных микросистем.Теоретические данные,полученные в ходе численного моделирования поведения нелинейных микромеханических элементов,подтверждаются экспериментально на изготовленных прототипах устройств. Полученные результаты дают возможность совершенствования технологических и конструкционных методов проектирования и изготовления устройств микросистемной техники.