В работе проведено исследование влияния оксидных покрытий на полевые эмиссионные характеристики углеродных нанотрубок. Массивы углеродных нанотрубок изготовлены при помощи метода PECVD на кремниевых подложках с участием катализаторов. Покрытия из оксида металла (NiO) нанесены при помощи метода атомно-слоевого осаждения. Проведена комплексная характеризация структур композитных катодов, которые представляют собой углеродные нанотрубки с оксидным покрытием, исследованы их характеристики эмиссии при помощи уникального многоканального измерительного комплекса, а также построена теоретическая модель эмиссии из нанокомпозитных катодов, при помощи которой дано объяснение изменений экспериментальных вольт-амперных характеристик эмиссии.

In this work, we studied the effect of oxide coatings on the field emission characteristics of carbon nanotubes. Arrays of carbon nanotubes were fabricated using the PECVD method on silicon substrates with the participation of catalysts. Metal oxide (NiO) coatings are applied using the atomic layer deposition method. A comprehensive characterization of the structures of composite cathodes, which are carbon nanotubes with an oxide coating, was carried out, their emission characteristics were studied using a unique multichannel measuring complex, and a theoretical model of emission from nanocomposite cathodes was constructed, with the help of which an explanation was given for changes in the experimental current-voltage characteristics of emission.