Детальная информация

Название Разработка технологии формирования композиционных слоев на основе углерода: научный доклад: 11.06.01 - Электроника, радиотехника и системы связи ; 11.06.01_03 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Авторы Пригодич Ксения Юрьевна
Научный руководитель Александров Сергей Евгеньевич
Организация Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Выходные сведения Санкт-Петербург, 2019
Коллекция Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Тематика углерод; магнетронное напыление; наночастицы никеля; carbon; magnetron sputtering; nickel nanoparticles
Тип документа Научный доклад
Тип файла PDF
Язык Русский
Уровень высшего образования Аспирантура
Код специальности ФГОС 11.06.01
Группа специальностей ФГОС 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI 10.18720/SPBPU/6/2019/vn19-71
Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи ru\spstu\vkr\4920
Дата создания записи 22.11.2019

Разрешенные действия

Прочитать Загрузить (2,2 Мб)

Группа Анонимные пользователи
Сеть Интернет

Разработана методика получения углеродных фольг методом магнетронного напыления. Разработана методика нанесения водорастворимого подслоя для последующего снятия напыленных углеродных фольг с подложки. Разработана методика получения углеродных фольг с наночастицами никеля методом магнетронного напыления. Изучены свойства и структура полученных пленок. Исследован характер влияния технологических параметров напыления на морфологию, состав и ряд свойств получаемых слоев. На основе полученных результатов определены перспективные области практического применения.

Developed the method for producing carbon foils by magnetron sputtering and the method for applying a water-soluble sublayer to remove carbon foils from substrate. Developed the method for producing carbon foils with nickel nanoparticles by magnetron sputtering. Studied the properties and structure of the obtained films. Investigated the influence of technological parameters on the morphology, composition and properties of the resulting layers. As a result, promising areas of practical application are identified.

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Все

Количество обращений: 70 
За последние 30 дней: 4

Подробная статистика