Исследована зависимость параметра кристаллической решетки SmS от температуры подложки, проведена оценка влияния технологических параметров и отжига на структурные особенности тонких пленок.Исследовано отклонение от закона Вегарда в тонких поликристаллических пленках состава Sm1-xLnxS, где Ln – Gd, Eu. Исследована зависимость температурного и барического коэффициентов сопротивления от состава. Подобран состав твердого раствора, пригодный для изготовления тонкопленочных тензорезисторов. Получен экспериментально и подтвержден теоретически явный вид параметрической зависимости электропроводности газочувствительного элемента, отвечающий развертке во времени электропроводности элемента при хемосорбции летучих углеводородов, содержащихся в атмосферном воздухе.

The dependence of the SmS crystal lattice parameter on the substrate temperature is investigated, and the influence of technological parameters and annealing on the structural features of thin films is evaluated.The deviation from Vegard's law in thin polycrystalline films of the Sm1-xLnxS composition, where Ln – Gd, Eu, is investigated. The dependence of the temperature and baric coefficient of resistance on the composition is studied. The composition of the solid solution suitable for the manufacture of thin-film strain gages was selected. An explicit form of parametric dependence of the electrical conductivity of a gas-sensitive element is obtained experimentally and theoretically confirmed, which corresponds to the time sweep of the electrical conductivity of the element during chemisorption of volatile hydrocarbons contained in atmospheric air.