В данной работе описаны методы численного моделирования процессов транспорта аэрозольных частиц в процессах химического осаждения наноматериалов из газовой фазы. Показаны конструкции аэродинамического распылителя и испарителя, предназначенные для работы с высококипящими реагентами и спроектированные на основе численных моделей. Проведено экспериментальное исследование работоспособности предложенных конструкций.

This paper describes methods for numerical modeling of aerosol particle transport in the CVD processes. The designs of an aerodynamic atomizer and evaporator designed for working with reagents with high boiling point and designed on the basis of numerical models are shown. An experimental study of the performance of the proposed structures was carried out.