Детальная информация

Название: Оптическая диагностика плёнок оксида индия, легированного оловом: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 16.03.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.03.01_11 «Физика полупроводников и наноэлектроника»
Авторы: Костромин Никита Андреевич
Научный руководитель: Шалыгин Вадим Александрович
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2022
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тип документа: Выпускная квалификационная работа бакалавра
Тип файла: Другой
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Бакалавриат
Код специальности ФГОС: 16.03.01
Группа специальностей ФГОС: 160000 - Физико-технические науки и технологии
Права доступа: Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 13.06.2017 г. № 91
Ключ записи: ru\spstu\vkr\17277

Аннотация

Проведён анализ экспериментальных спектров. Определены спектральные зависимости показателя преломления и коэффициента экстинкции. С помощью метода матриц переноса и модели Друде смоделированы спектры пропускания и отражения. Проведено сравнение разработанного метода с другими методами диагностики.

The experimental spectra were analyzed. The spectral dependences of the refractive index and the extinction coefficient were determined. Using the transfer matrix method and the Drude model, the transmission and reflection spectra were modeled. The developed method was compared with other diagnostic methods.