Разработана методика получения углеродных фольг методом магнетронного напыления. Разработана методика нанесения водорастворимого подслоя для последующего снятия напыленных углеродных фольг с подложки. Разработана методика получения углеродных фольг с наночастицами никеля методом магнетронного напыления. Изучены свойства и структура полученных пленок. Исследован характер влияния технологических параметров напыления на морфологию, состав и ряд свойств получаемых слоев. На основе полученных результатов определены перспективные области практического применения.

Developed the method for producing carbon foils by magnetron sputtering and the method for applying a water-soluble sublayer to remove carbon foils from substrate. Developed the method for producing carbon foils with nickel nanoparticles by magnetron sputtering. Studied the properties and structure of the obtained films. Investigated the influence of technological parameters on the morphology, composition and properties of the resulting layers. As a result, promising areas of practical application are identified.