Детальная информация

Название: Магнетронные распылительные системы. Ч. 1. Устройство, принципы работы, применение: в 2 частях: учебное пособие по курсу «Технологические ионно-плазменные установки»
Авторы: Духопельников Дмитрий Владимирович
Организация: Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Выходные сведения: Москва: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014
Коллекция: ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Тематика: Пленки тонкие — Получение; Распылители
УДК: 621.793.7(075.8)
Тип документа: Учебное издание
Язык: Русский
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Статистика использования

stat Количество обращений: 3
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика