Детальная информация
| Название | Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие |
|---|---|
| Авторы | Малов И. Е. ; Шиганов И. Н. |
| Выходные сведения | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008 |
| Коллекция | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE" ; Общая коллекция |
| УДК | 621.375.826(075.8) |
| ББК | 32.86 |
| Тип документа | Другой |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | BIBLIOCLUB\0000256827 |
| Дата создания записи | 23.06.2025 |
Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок.Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».
Количество обращений: 18
За последние 30 дней: 9
