Детальная информация
| Название | Магнетронные распылительные системы: учебное пособие. 1. Устройство, принципы работы, применение |
|---|---|
| Авторы | Духопельников Д. В. |
| Выходные сведения | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014 |
| Коллекция | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE" ; Общая коллекция |
| УДК | 621.793:537.525(075.8) |
| ББК | 32.848.4 |
| Тип документа | Другой |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | BIBLIOCLUB\0000258467 |
| Дата создания записи | 23.06.2025 |
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Количество обращений: 53
За последние 30 дней: 7
