Детальная информация
| Название | Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие |
|---|---|
| Авторы | Бычков С. П.; Михайлов В. П.; Панфилов Ю. В.; Цветков Ю. Б. |
| Организация | Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана |
| Выходные сведения | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009 |
| Коллекция | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE"; Общая коллекция |
| Тематика | Электротехника |
| УДК | 621.3(075.8) |
| Тип документа | Учебник |
| Тип файла | Другой |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | BIBLIOCLUB\0000344625 |
| Дата создания записи | 24.10.2021 |
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
Количество обращений: 16
За последние 30 дней: 1
