Детальная информация
| Название | Особенности применения спектральных систем контроля при изготовлении интерференционных фильтров для инфракрасного диапазона спектра = Features of the application of broadband optical monitor systems in manufacturing of infrared interference filters // Оптический журнал. – 2026. – № 3. — С. 92-101 |
|---|---|
| Авторы | Тропин А. Н. |
| Организация | Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям |
| Выходные сведения | 2026 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | Физика ; Физическая оптика ; интерференционные фильтры ; спектральные системы контроля ; инфракрасный диапазон спектров ; вакуумное осаждение ; многослойные тонкопленочные покрытия ; широкополосные спектральные системы ; интерференционные покрытия ; вакуумное напыление покрытий ; interference filters ; spectral monitoring systems ; infrared spectral range ; vacuum deposition ; multilayer thin film coatings ; broadband spectral systems ; interference coatings ; vacuum coating |
| УДК | 535.2/.3 |
| ББК | 22.343 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.17586/1023-5086-2026-93-03-92-101 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Дополнительно | Новинка |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\78512 |
| Дата создания записи | 19.03.2026 |
Предмет исследования. Особенности применения широкополосных спектральных систем контроля, используемых при изготовлении интерференционных фильтров для инфракрасного спектрального диапазона. Цель работы. Определение влияния различных стратегий контроля на точность воспроизведения спроектированных прецизионных многослойных инфракрасных интерференционных покрытий и сравнение их эффективности. Метод. Проведение серии вычислительных экспериментов, моделирующих реальный процесс вакуумного напыления оптических покрытий с учетом характерных особенностей используемой спектральной системы контроля, применяемых пленкообразующих материалов и топологий формируемых многослойных структур. Основные результаты. Установлено влияние выбора стратегии контроля на погрешность определения толщины слоев, приводящую к искажению спектральных характеристик многослойных тонкопленочных покрытий. Определены наиболее эффективные стратегии контроля для рассмотренных модельных структур интерференционных фильтров. Практическая значимость. Результаты исследования могут применяться на практике при изготовлении инфракрасных интерференционных покрытий и фильтров на их основе. Возможность применения полученных результатов продемонстрирована на примере изготовления 27-слойного коротковолнового блокирующего фильтра с коротковолновой границей пропускания, равной 8,0 мкм.
Subject of study. Features of the application of broadband optical monitor systems used in manufacturing of interference filters for the infrared spectral range. Aim of study. Determination of the influence of different control strategies on the reproduction accuracy of designed precision multilayer infrared interference coatings and comparison of their efficiency. Method. Running a series of computational experiments simulating the real process of optical coatings vacuum deposition, taking into account characteristic features of the used spectral control system, applied film-forming materials, and topologies of formed multilayer structures. Main results. It has been established that the choice of control strategy affects the magnitude of errors in layer thicknesses, leading to distortion of spectral characteristics of multilayer thin-film coatings. The most effective control strategies have been identified for the considered model structures of interference filters. Practical significance. The research results presented in this work can be applied in practice during the manufacture of infrared interference coatings and filters. The possibility of applying the obtained results is demonstrated by an example of manufacturing a 27-layer long pass filter with short-wavelength transmission at 8.0 mum.
Количество обращений: 39
За последние 30 дней: 39
