Детальная информация
| Название | Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 5. — С. 787-791 |
|---|---|
| Авторы | Акашев Л. А. ; Махнев А. А. ; Кочаков В. Д. ; Владимиров А. П. ; Дружинин А. В. |
| Выходные сведения | 2022 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | Физика ; Физика твердого тела. Кристаллография в целом ; стальные образцы ; линейно-цепочечный углерод ; углеродные пленки ; оптические свойства ; эллипсометрия ; оптические постоянные пленки ; импульсная углеродная плазма |
| УДК | 539.2 |
| ББК | 22.37 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.21883/OS.2022.05.52438.2650-21 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\68717 |
| Дата создания записи | 05.09.2022 |
Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 до 1100 nm (1.13-5.0 eV с шагом 0.1 eV) и определена ее толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно зеркально полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется в пределах от 2.35 до 2.73, а величина k изменяется от значения, близкого к нулю, до величины 1.02. Эффективная толщина пленки определена равной d = 92 плюс/минус 2 Angstrem. По типу проводимости ЛЦУ-пленка - диэлектрик (Eg = 4.1 eV). Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок.
