Детальная информация
| Название | Формирование плёнок In[2]O[3] методом магнетронного напыления на подложках Al[2]O[3] (012) // Оптика и спектроскопия. – 2022. – С. 1170-1173 |
|---|---|
| Авторы | Тихий А. А.; Николаенко Ю. М.; Свиридова Е. А.; Жихарев И. В. |
| Выходные сведения | 2022 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | Физика; Спектроскопия; оптические характеристики пленок; магнетронное напыление; напыление на подложках; показатели преломления; микроструктура пленок; поликристаллические мишени; монокристаллические подложки |
| УДК | 535.33 |
| ББК | 22.344 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Тип файла | Другой |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\69188 |
| Дата создания записи | 03.11.2022 |
Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In[2]O[3], полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на "холодную" подложку, возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка плёнок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой плёнок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью.
Количество обращений: 33
За последние 30 дней: 6
