Оптические характеристики легированных бором кремниевых пластин после быстрого термического отжига

Стаськов, Н. И.; Сергейчик, А. А.; Сотский, А. Б.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Сотская, Л. И.; Понкратов, Д. В.; Чудаков, Е. А.; Шилов, А. В.

Детальная информация

Название	Оптические характеристики легированных бором кремниевых пластин после быстрого термического отжига // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 8. — С. 874-880
Авторы	Стаськов Н. И. ; Сергейчик А. А. ; Сотский А. Б. ; Петлицкий А. Н. ; Пилипенко В. А. ; Сотская Л. И. ; Понкратов Д. В. ; Чудаков Е. А. ; Шилов А. В.
Выходные сведения	2025
Коллекция	Общая коллекция
Тематика	Физика ; Оптические свойства твердых тел ; оптические характеристики ; легирование бором ; кремниевые пластины ; быстрый термический отжиг ; спектры диэлектрической проницаемости ; показатели преломления ; показатели поглощения ; ширина запрещенной зоны (физика)
УДК	539.21:535
ББК	22.374
Тип документа	Статья, доклад
Язык	Русский
DOI	10.61011/OS.2025.08.61514.7045-25
Права доступа	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи	RU\SPSTU\edoc\77466
Дата создания записи	20.11.2025

Разрешенные действия

Посмотреть

Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства легированных бором кремниевых пластин КДБ-12 с одной матированной поверхностью, подвергнутых быстрому термическому отжигу. В алгоритме расчетов диэлектрической проницаемости полупроводниковой подложки исключено влияние известного поверхностного оксидного слоя. Рассчитаны ширина запрещенных зон и энергия Урбаха. Спектры действительной и мнимой частей диэлектрической проницаемости сдвинуты относительно соответствующих спектров c-Si в коротковолновую область. Полоса мнимой части диэлектрической проницаемости в области второй точки сингулярности состоит из нескольких полос.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 12 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/title_about_new.asp?id=7925>.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. Т. 133, № 8, 2025. — (13 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=83102452>.

...