Детальная информация
| Название | Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов.— 4-е изд., электрон. |
|---|---|
| Авторы | Зебрев Г. И. |
| Выходные сведения | Москва: Лаборатория знаний, 2020 |
| Коллекция | ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru" ; Общая коллекция |
| Тематика | Нанотехнологии в приборостроении |
| Тип документа | Другой |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ только с авторизованных компьютеров.; Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\IBOOK\books\350197 |
| Дата создания записи | 25.09.2024 |
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
...
