Детальная информация
| Название | Design and manufacturing of active microsystems |
|---|---|
| Другие авторы | Büttgenbach Stephanus ; Burisch Arne ; Hesselbach Jürgen |
| Выходные сведения | Berlin, Heidelberg: Springer, 2011 |
| Коллекция | Электронные книги зарубежных издательств ; Общая коллекция |
| Тематика | Микроэлектроника ; magnetic microsystems ; mechanical micromaching ; microactuators ; магнитные микросистемы ; механическая микрообработка ; микроприводы |
| УДК | 621.38.049.77 |
| Тип документа | Другой |
| Тип файла | Другой |
| Язык | Английский |
| Права доступа | Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\52580 |
| Дата создания записи | 18.04.2018 |
This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle. The travel of the investigated actuator systems is on the order of several millimeters. The total construction size of the actuator is on the range of several centimeters whereas essential structures being several micrometers. The methods and the production technologies that are investigated on the basis of various research models incorporate the fundamental process chains of microsystems.
Количество обращений: 172
За последние 30 дней: 2
