Детальная информация
| Название | Обобщенная нуль-эллипсометрия в схеме "поляризатор-образец-анализатор" // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 3. — С. 377-386 |
|---|---|
| Авторы | Сопинский Н. В. ; Ольховик Г. П. |
| Выходные сведения | 2022 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | Физика ; Физическая оптика ; нуль-эллипсометрия ; обобщенная нуль-эллипсометрия ; оптические схемы ; поляризаторы ; анализаторы ; анизотропия ; фотометрическая эллипсометрия |
| УДК | 535.2/3 |
| ББК | 22.343 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.21883/OS.2022.03.52166.2590-21 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\68545 |
| Дата создания записи | 08.07.2022 |
Рассмотрена "нуль-методика" обобщенной эллипсометрии с использованием бескомпенсаторной схемы поляризатор-образец-анализатор при падении на анизотропную систему s- или p-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину - азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения - с элементами (2x2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой величины от ориентации (азимута) образца. Оценена чувствительность метода. Установлено, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор-компенсатор-образец-анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор-образец-анализатор, основанном на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора. Для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения 0.05% в фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии.
