Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: Посмотреть |
Аннотация
Приведены экспериментальные исследования работы макета гомодинного квадратурного интерферометра перемещений. В блоке регистрации гомодинного интерферометра вместо поляризационного светоделителя используются неполяризационный светоделительный кубик и два поляризатора. Это добавило дополнительные степени свободы при юстировке оптических каналов регистрации интерференционных сигналов и позволило достичь необходимый сдвиг фаз между ними 90 градусов с точностью 0.1. В результате этого экспериментально достигнута погрешность измерения перемещения, равная 0.2 nm. Получены обобщенные выражения для квадратурных сигналов в случае произвольных азимутов поляризаторов в трех каналах регистрации интерференционных сигналов. Проведена теоретическая оценка точности измерений перемещения с помощью квадратурного гомодинного интерферометра и получено, что расширенная неопределенность таких измерений не превышает величины 0.3 nm.
Входит в состав
Статистика использования
Количество обращений: 13
За последние 30 дней: 1 Подробная статистика |