Оптимизация технологий изготовления структур интегральной фотоники с использованием позитивного электронного резиста AR-P 6200

Киселевский, В. А.; Фетисенкова, К. А.; Татаринцев, А. А.; Мельников, А. Е.; Глаз, О. Г.

Детальная информация

Название	Оптимизация технологий изготовления структур интегральной фотоники с использованием позитивного электронного резиста AR-P 6200 // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 3. — С. 292-298
Авторы	Киселевский В. А. ; Фетисенкова К. А. ; Татаринцев А. А. ; Мельников А. Е. ; Глаз О. Г.
Организация	"Saratov Fall Meeting-2024", международная конференция
Выходные сведения	2025
Коллекция	Общая коллекция
Тематика	Физика ; Геометрическая оптика. Оптические приборы ; интегральная фотоника ; структуры интегральной фотоники ; электронные резисты ; резист AR-P 6200 ; электронно-лучевая литография ; плазмохимическое травление ; фотонные структуры ; высокоинтегрированная фотоника
УДК	535.31
ББК	22.342
Тип документа	Статья, доклад
Язык	Русский
DOI	10.61011/OS.2025.03.60246.2-25
Права доступа	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи	RU\SPSTU\edoc\77273
Дата создания записи	31.10.2025

Разрешенные действия

Посмотреть

Создана методика для изготовления волноводов с каналом заданной ширины, используя электронно-лучевую литографию с применением позитивного электронного резиста AR-P 6200 (CSAR 62). Разработан технологический процесс с подобранными параметрами, позволивший изготовить тестовые структуры интегральной фотоники.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 12 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/title_about_new.asp?id=7925>.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. Т. 133, № 3, 2025. — (16 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=82415009>.

Количество обращений: 54
За последние 30 дней: 10

Подробная статистика