Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO[2]/Si[3]N[4]

Абанин, А. И.; Рязанов, Р. М.; Голиков, А. Д.; Ковалюк, В. В.; Венедиктов, И. О.; Ан, П. П.; Шимловская, Д. А.; Кицюк, Е. П.; Косолобов, С. С.; Лазаренко, П. И.; Гольцман, Г. Н.; Светухин, В. В.

Детальная информация

Название	Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO[2]/Si[3]N[4] // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 9. — С. 957-962
Авторы	Абанин А. И. ; Рязанов Р. М. ; Голиков А. Д. ; Ковалюк В. В. ; Венедиктов И. О. ; Ан П. П. ; Шимловская Д. А. ; Кицюк Е. П. ; Косолобов С. С. ; Лазаренко П. И. ; Гольцман Г. Н. ; Светухин В. В.
Выходные сведения	2025
Коллекция	Общая коллекция
Тематика	Радиоэлектроника ; Полупроводниковые приборы ; нитрид кремния ; кольцевые микрорезонаторы ; интегральные схемы ; фотонные интегральные схемы ; оптические устройства ; оптические параметры ; высокотемпературный отжиг ; добротность микрорезонаторов
УДК	621.382
ББК	32.852
Тип документа	Статья, доклад
Язык	Русский
DOI	10.61011/OS.2025.09.61763.8228-25
Права доступа	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи	RU\SPSTU\edoc\77966
Дата создания записи	13.01.2026

Разрешенные действия

Посмотреть

Развитие современных систем обработки информации ограничивается быстродействием электронных схем. Реализация высокоскоростной обработки информации следующего поколения становится крайне сложной задачей при использовании традиционной электронной компонентной базы. Одним из вариантов решения данной проблемы является переход к созданию систем на основе фотонных интегральных схем. В работе представлены результаты изготовления высокодобротных кольцевых микрорезонаторов из нитрида кремния. Для изготовления оптических устройств использовались структуры Si/SiO[2]/Si[3]N[4], сформированные с применением производственного оборудования НПК "Технологический центр". Исследованы зависимости оптических параметров структур от технологических режимов формирования нитрида кремния и применения дополнительного высокотемпературного отжига. Продемонстрированы образцы кольцевых резонаторов с добротностью >105 при радиусе кольца ~64 mum.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 12 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/title_about_new.asp?id=7925>.

Оптика и спектроскопия. — Санкт-Петербург: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2022 -. Т. 133, № 9, 2025. — (13 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/contents.asp?id=86181456>.

Количество обращений: 48
За последние 30 дней: 16

Подробная статистика