Детальная информация

Название: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие. — 3-е изд.
Авторы: Галперин В. А.; Данилкин Е. В.; Мочалов А. И.
Выходные сведения: Москва: Лаборатория знаний, 2015
Коллекция: ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Тематика: Травление металлов; Микроэлектроника
УДК: 621.794.4(075.8); 621.38.049.77(075.8)
Тип документа: Учебник
Тип файла: Другой
Язык: Русский
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: RU\IBOOK\books\335339

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультра-больших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Статистика использования

stat Количество обращений: 2
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика