Детальная информация

Название: Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Авторы: Берлин Е. В.; Сейдман Л. A.
Выходные сведения: Москва: Техносфера, 2014
Коллекция: ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Тематика: Магнетроны; Приборостроение — Внедрение передовой технологии и техники
УДК: 621.385.64; 681.2:658
Тип документа: Другой
Тип файла: Другой
Язык: Русский
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: RU\IBOOK\books\342820

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Статистика использования

stat Количество обращений: 2
За последние 30 дней: 1
Подробная статистика