Буторин, П. С. Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности = An optimization of conditions for excitation of xenon laser plasma in a source of extreme ultraviolet radiation for nanolithography in order to increase its efficiency / П. С. Буторин, С. Г. Калмыков. — 1 файл. — (Фотоника, нанофотоника и радиофотоника). — DOI 10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104. — Текст: электронный // Оптический журнал = Journal of optical technology. – 2024. – № 5. — С. 95-104. — Загл. с титул. экрана. — Статья, представленная на первой Всероссийской научной конференции с международным участием "Невская фотоника - 2023". — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Вчера | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Последние 30 дней | 0 | 0 | 0 | 5 | 5 |
| Последние 365 дней | 0 | 0 | 0 | 5 | 5 |
| За все время | 0 | 0 | 0 | 5 | 5 |