Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2-01.jpg>. — Текст: электронный
Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
---|---|---|---|---|---|
Вчера | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Последние 30 дней | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
Последние 365 дней | 0 | 0 | 0 | 11 | 11 |
За все время | 0 | 0 | 0 | 14 | 14 |