Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие / Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 280 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350104>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2569-6.jpg>. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Вчера | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Последние 30 дней | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Последние 365 дней | 0 | 0 | 0 | 7 | 7 |
| За все время | 0 | 0 | 0 | 20 | 20 |