Adams, Thomas M. — Introductory MEMS : fabrication and applications [Электронный ресурс] / Thomas M. Adams, Richard A. Layton. — Boston, MA: Springer, 2010. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://link.springer.com/book/10.1007/978-0-387-09511-0>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Вчера | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Последние 30 дней | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
| Последние 365 дней | 0 | 0 | 0 | 22 | 22 |
| За все время | 0 | 0 | 0 | 60 | 60 |