Нелюбин, И. В. Особенности контроля трехмерного профиля элементов и структур наноразмерных ИС.: обзор = Features of three-dimensional profile control of elements and structures of nanoscaled ICs. Review / И. В. Нелюбин, М. Г. Путря. — 1 файл (1,84 Мб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-3-298-325. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 298-325. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011392>.