Пайн Со Хту. Моделирование и оптимизация емкостного МЭМС-датчика ускорения гребенчатого типа = Modeling and optimization of MEMS comb type capacitive acceleration sensor / Пайн Со Хту, В. В. Калугин, Е. С. Кочурина. — 1 файл (769 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-4-452-460. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 452-460. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54314947>.