Sarkar, Jaydeep. Sputtering materials for VLSI and thin film devices [Электронный ресурс] / Jaydeep Sarkar. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Вчера | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Последние 30 дней | 0 | 0 | 0 | 5 | 5 |
| Последние 365 дней | 0 | 0 | 0 | 33 | 33 |
| За все время | 0 | 0 | 0 | 63 | 63 |