Sarkar, Jaydeep. Sputtering materials for VLSI and thin film devices [Электронный ресурс] / Jaydeep Sarkar. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Вчера
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Последние 30 дней
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Последние 365 дней
|
0
|
0
|
0
|
11
|
11
|
|
За все время
|
0
|
0
|
0
|
25
|
25
|
