Духопельников, Д. В. Магнетронные распылительные системы: учебное пособие. 1. Устройство, принципы работы, применение / Д. В. Духопельников; Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана. — Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. — 56 с.: ил., схем., табл. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=258467>. — Текст: электронный
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2021
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2022
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Год 2023
|
0
|
0
|
0
|
8
|
8
|
|
Год 2024
|
0
|
0
|
0
|
16
|
16
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
27
|
27
|
