Физические основы микро- и нанотехнологий: учебное пособие / С. П. Бычков, В. П. Михайлов, Ю. В. Панфилов, Ю. Б. Цветков; под ред. Ю. Б. Цветков; Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана. — Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. — 176 с.: табл., схем. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=344625>. — Текст: электронный
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2021
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2022
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Год 2023
|
0
|
0
|
0
|
11
|
11
|
|
Год 2024
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
15
|
15
|
