Тимаков, А. В. Многоуровневая металлизация высокотемпературных кремниевых ИС на основе вольфрама. Физика и технология: обзор = Multilevel metallization of high-temperature silicon IС based on tungsten. Physics and technology. Review / А. В. Тимаков, В. С. Горностай-Польский, В. И. Шевяков. — 1 файл (1,11 Мб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-164-179. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 164-179. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50767474>.