Особенности проектирования и технологии изготовления трехмерной микросистемы с торцевой коммутацией = Design and manufacturing features of a three-dimensional microsystem with side commutations / И. А. Беляков, Д. В. Вертянов, М. Д. Кочергин, С. П. Тимошенков. — 1 файл (1,24 Мб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-4-471-488. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 471-488. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=54314949>.