Технологические аспекты изготовления чувствительных элементов микромеханических датчиков удара = Technological aspects of manufacturing sensing elements of micromechanical impact sensors / Е. С. Кочурина, Л. Р. Боев, Н. М. Зарянкин [и др.]. — 1 файл (713 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-1-79-88. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 1. — С. 79-88. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=61486467>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Год 2024 | 0 | 0 | 0 | 10 | 10 |
| Всего | 0 | 0 | 0 | 10 | 10 |