Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2-01.jpg>. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Год 2022 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Год 2023 | 0 | 0 | 0 | 6 | 6 |
| Год 2024 | 0 | 0 | 0 | 8 | 8 |
| Всего | 0 | 0 | 0 | 15 | 15 |