Pierson, Hugh O. — Handbook of chemical vapor deposition [Электронный ресурс]: principles, technology and applications / Hugh O. Pierson. — 2nd ed. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 1999. — (Materials science and process technology series). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815514329>.
Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
---|---|---|---|---|---|
Год 2018 | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
Год 2019 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
Год 2020 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
Год 2021 | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 |
Год 2022 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
Год 2023 | 0 | 0 | 0 | 7 | 7 |
Год 2024 | 0 | 0 | 0 | 12 | 12 |
Всего | 0 | 0 | 0 | 27 | 27 |