Sarkar, Jaydeep. — Sputtering materials for VLSI and thin film devices [Электронный ресурс] / Jaydeep Sarkar. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Год 2018 | 0 | 0 | 0 | 4 | 4 |
| Год 2019 | 0 | 0 | 0 | 4 | 4 |
| 2020 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Год 2021 | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 |
| Год 2022 | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Год 2023 | 0 | 0 | 0 | 9 | 9 |
| Год 2024 | 0 | 0 | 0 | 13 | 13 |
| Всего | 0 | 0 | 0 | 34 | 34 |