Матричная технология измерений. Точность измерения координат элементов и контроль фотошаблонов = Matrix measurement technology. The accuracy of measuring the coordinates of the elements and the control of the photomasks / А. Н. Королев, А. Я. Лукин, Ю. В. Филатов, В. Ю. Венедиктов. — 1 файл. — (Метрология и метрологическое обеспечение). — DOI 10.17586/1023-5086-2024-91-03-115-123. — Текст: электронный // Оптический журнал = Journal of optical technology. – 2024. – № 3. — С. 115-123. — Загл. с титул. экрана. — Статья, представленная на 20-й Международной конференции по голографии и прикладным оптическим технологиям. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://eivis.ru/browse/issue/13342662/viewer?udb=12&page=117>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Год 2024 | Квартал 4 | 0 | 0 | 0 | 12 | 12 |
| Всего | 0 | 0 | 0 | 12 | 12 | |