Pierson, Hugh O. Handbook of chemical vapor deposition [Электронный ресурс]: principles, technology and applications / Hugh O. Pierson. — 2nd ed. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 1999. — (Materials science and process technology series). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815514329>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2018
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
21
|
21
|
