Handbook of silicon based MEMS materials and technologies [Электронный ресурс] / Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto and Teruaki Motooka. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — (Micro & Nano Technologies). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515944>.
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Год 2018
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
2019
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
2020
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
19
|
19
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
10
|
10
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
52
|
52
|