Характеристики и области возможных применений аморфных кремний-углеродных и металл-кремний-углеродных пленок: обзор = Characteristics of amorphous silicon-carbon and metal-silicon-carbon films, areas of possible applications. Review / В. К. Дмитриев, Э. А. Ильичев, Г. Г. Кирпиленко [и др.]. — 1 файл (2,04 Мб). — (Mатериалы электроники). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-1-24-48. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 24-48. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50308497>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2023
|
Квартал 2
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
4
|
4
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
11
|
11
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
48
|
48
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
80
|
80
|
