Тимаков, А. В. Многоуровневая металлизация высокотемпературных кремниевых ИС на основе вольфрама. Физика и технология: обзор = Multilevel metallization of high-temperature silicon IС based on tungsten. Physics and technology. Review / А. В. Тимаков, В. С. Горностай-Польский, В. И. Шевяков. — 1 файл (1,11 Мб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-164-179. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 164-179. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50767474>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2023
|
Квартал 2
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
5
|
5
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
11
|
11
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
61
|
61
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
42
|
42
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
132
|
132
|
