Пьо Вин Тун. Исследование возможностей повышения чувствительности МЭМС-датчика давления емкостного типа с мембранами различных геометрических форм = Investigation of the possibilities of increasing the sensitivity of a capacitive-type MEMS pressure sensor with membranes of various geometric shapes / Пьо Вин Тун, Б. М. Симонов, С. П. Тимошенков. — 1 файл (769 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-2-222-231. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 222-231. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=50767480>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2023
|
Квартал 2
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
47
|
47
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
40
|
40
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
104
|
104
|
