Особенности проектирования и технологии изготовления трехмерной микросистемы с торцевой коммутацией = Design and manufacturing features of a three-dimensional microsystem with side commutations / И. А. Беляков, Д. В. Вертянов, М. Д. Кочергин, С. П. Тимошенков. — 1 файл (1,24 Мб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-4-471-488. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 471-488. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=54314949>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Год 2023 | Квартал 3 | Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 |
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 4 | 4 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Год 2024 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Всего | 0 | 0 | 0 | 20 | 20 | ||