Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов. — 3-е изд. — Москва: Лаборатория знаний, 2015. — 286 с. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=335339>. — <URL:https://ibooks.ru/resize/w188/images/T/978-5-9963-2129-2.jpg>. — Текст: электронный
Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Год 2022 | Квартал 3 | Август | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Год 2023 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
Май | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
Август | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 7 | 7 | |
Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Декабрь | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
Год 2024 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
Май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 | |
Август | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 | ||
Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
Всего | 0 | 0 | 0 | 25 | 25 |