Радзиевская, Т. А. Отсекающий УФ-светофильтр для предотвращения отрицательного наклона стенок мастер-штампа мягкой литографии = Cut-off UV light filter to prevent negative slope of the soft lithography hard mold walls / Т. А. Радзиевская, Н. Н. Иванов, С. А. Тарасов. — 1 файл (677 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-1-41-49. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2022. – С. 41-49. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=47983439>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2022
|
Квартал 2
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
13
|
13
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
9
|
9
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
41
|
41
|
