Нелюбин, И. В. Особенности контроля трехмерного профиля элементов и структур наноразмерных ИС.: обзор = Features of three-dimensional profile control of elements and structures of nanoscaled ICs. Review / И. В. Нелюбин, М. Г. Путря. — 1 файл (1,84 Мб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-3-298-325. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 298-325. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011392>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2023
|
Квартал 2
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
Октябрь
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
|
Ноябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Декабрь
|
0
|
0
|
0
|
2
|
2
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
Январь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Февраль
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Март
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
Апрель
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Май
|
0
|
0
|
0
|
3
|
3
|
|
Июнь
|
0
|
0
|
0
|
26
|
26
|
|
Квартал 3
|
Июль
|
0
|
0
|
0
|
51
|
51
|
|
Август
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
|
Сентябрь
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Всего
|
0
|
0
|
0
|
93
|
93
|
