Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении = Composition control of Mo-Si-N-O thin films during reactive magnetron sputtering / Д. Г. Громов, С. А. Гаврилов, Е. А. Лебедев [и др.]. — 1 файл (973 Кб). — (Материалы электроники). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-6-745-761. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 745-761. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172126>.
Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Год 2023 | Квартал 4 | Декабрь | 0 | 0 | 0 | 6 | 6 |
Год 2024 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
Февраль | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
Май | 0 | 0 | 0 | 4 | 4 | ||
Июнь | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
Август | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
Всего | 0 | 0 | 0 | 18 | 18 |