Sarkar, Jaydeep. — Sputtering materials for VLSI and thin film devices [Электронный ресурс] / Jaydeep Sarkar. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Год 2018 | Квартал 2 | Май | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 |
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2019 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| 2020 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2021 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2022 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2023 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Год 2024 | Квартал 1 | Январь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 |
| Февраль | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Март | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Квартал 2 | Апрель | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Май | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Июнь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Квартал 3 | Июль | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | |
| Август | 0 | 0 | 0 | 3 | 3 | ||
| Сентябрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | ||
| Квартал 4 | Октябрь | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | |
| Ноябрь | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| Декабрь | 0 | 0 | 0 | 2 | 2 | ||
| Всего | 0 | 0 | 0 | 34 | 34 | ||